真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品.產(chǎn)量很大.產(chǎn)值不高.但它確實是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品.真空泵從高/超真空到粗/低真空.其產(chǎn)品大致可分14大類:
高/超真空--低溫泵.分子泵.濺射離子泵.鈦升華泵.擴散泵.
中真空--干泵.雙級旋片泵.羅茨泵.油增壓泵.水蒸氣噴射泵.
粗/低真空--單級旋片泵.滑閥泵.液環(huán)泵.往復(fù)式真空泵.
真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化.市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大.
目前.全球真空泵市場的年銷售額約20億美元.年增長率在7%左右.
我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多.全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右.僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額.通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出.各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展.我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ).國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證.有些泵還出口國外.得到國外用戶的認可并受到好評.應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間.
1.液環(huán)泵
雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵.但在我國的石油.化工.電力.輕紡.造紙.醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場.在國外.液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%.僅次于干泵.所以Nash.Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò).不斷擴大在我國的市場份額.由于液環(huán)泵大部分是鑄件.加工要求也不高.屬勞動密集型產(chǎn)品.所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢.關(guān)鍵是要改進設(shè)計.縮小體積.減輕重量.提高效率.降低能耗.
2.滑閥泵
由于滑閥泵比較耐用.可靠.國內(nèi)外各種真空爐.鍍膜機以及干燥.浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵.但是滑閥泵鑄件重.加工工作量較大.所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴.為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場.必須進一步降低泵的振動噪聲.杜絕噴油和漏油.提高滑閥泵長期運行的可靠性.
3.直聯(lián)旋片泵
隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴大.直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大.由于這種泵數(shù)量很多.加工裝配工作量很大.價格又很低.所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠.國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān).價格又遠比國外的泵便宜.所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢.關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題.確保直聯(lián)泵在高速.高溫下性能穩(wěn)定和運行可靠.同時還要進一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力.
4.羅茨泵
從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看.國外幾家大公司.如Leybold.Balzers.Alcatell.Edwards和ULVAC.他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%.這5家總計才20%.羅茨泵產(chǎn)量不大.但國外羅茨泵的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多.目前.國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng).為了縮短抽氣時間.提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵.所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場.這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲.徹底解決軸封漏油問題.改進泵的外觀質(zhì)量.提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度.另外.還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz.更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的可靠性.
目前.國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進展很快.技術(shù)上已經(jīng)成熟.由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器.其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子.從而使壓縮熱得平衡.所以這種泵可以直排大氣.為了滿足不同極限真空度的要求.這種泵可以串聯(lián)使用.一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵.所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級.這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì).實際上也是屬于干泵.目前.這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油.化工.塑料.農(nóng)藥.汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡.
5.分子泵
分子泵在國外半導體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵.尤其是濺射.刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵.
由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一.所以分子泵的排氣時間比低溫泵長.為了提高抽速.國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃--150℃的低溫冷板.稱之為低溫分子泵.水蒸汽被低溫板捕獲.其他氣體則由分子泵抽走.這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用.既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量.隨著我國半導體工業(yè).薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展.分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點.首先.分子泵要從小到大建立完整系列.并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵.牽引泵和低溫分子泵.以滿足不同場合的需要.
6.干泵
國外干泵市場的不斷增長.其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè).化學工業(yè).薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展.在日本.半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵.歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵.大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量.為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求.國外有多級羅茨真空泵.多級爪式真空泵.螺桿式真空泵.渦旋式真空泵.往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等.極限壓力從10Pa-10-2Pa.抽速從20m3/h-500m3/h.據(jù)統(tǒng)計.目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%.國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口.其價格十分昂貴.所以.我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵.使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點.
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